در زمینه تولید نمایشگرهای نیمه هادی یا کریستال مایع ، ادغام دستگاه در سالهای اخیر افزایش یافته است. در ساخت دستگاهی به نام مدار مجتمع در مقیاس بزرگ ، الگوی دقیق 1 میکرون یا کمتر مورد نیاز است. در چنین فرآیند تولید ، گرد و غبار ریز یا مقدار بسیار کمی از ناخالصی های گاز روی الگوی سیم کشی رسوب کرده یا جذب می شوند که منجر به خرابی مدار می شود. بنابراین ، لازم است که هم گاز واکنش و هم گاز حامل با خلوص بالا ، یعنی فقط چند ذره و ناخالصی های گاز ، بتوانند در این گازها وجود داشته باشند. به همین دلیل ، لازم است لوله مویرگی فولادی ضد زنگ یا یک عضو از چنین گازی با خلوص بالا استفاده کند و سطح داخلی آن به عنوان آلاینده ای برای انتشار آلاینده ها ، تنها با حداقل مقدار ذرات و گاز مورد استفاده قرار می گیرد. علاوه بر گازهای بی اثر مانند نیتروژن و آرگون ، بسیاری از گازها به نام گازهای تخصصی نیز به عنوان گازهایی برای تولید نیمه رساناها مورد استفاده قرار می گیرند. نمونه هایی از گازهای خاص شامل گازهای خورنده مانند کلر ، کلرید هیدروژن و هیدروژن برومید و گازهای ناپایدار شیمیایی مانند سیلو است. مورد اول به مقاومت در برابر خوردگی گاز نیاز دارد ، در حالی که مورد دوم به عملکرد غیر کاتالیزوری نیاز دارد.
تا کنون ، به منظور کاهش رسوب یا جذب گرد و غبار یا آب ، سطح داخلی قطعه مورد استفاده برای تولید گازهای نیمه رسانا صاف شده است تا زمانی که زبری سطح Rmax آن 1 میکرون یا کمتر باشد. طراحی سرد ، پرداخت مکانیکی ، پرداخت شیمیایی ، پرداخت یا ترکیبی از آنها می تواند به عنوان روشی برای صاف کردن سطح داخلی یا قسمت هایی از لوله مورد استفاده قرار گیرد. با این حال ، یک ماده بسیار صاف با مقدار 1 میکرون یا کمتر عمدتا با پرداخت الکترولیتی بدست می آید. سطح داخلی لوله یا موارد مشابه صاف می شود ، سپس با آب با خلوص بالا تمیز شده و با گاز خلوص بالا خشک می شود تا محصول نهایی به دست آید.
هنگام جوشکاری معمولاً از جوشکاری استفاده می شود. این به این دلیل است که جوشکاری می تواند استحکام بالا و تنگی هوای خوب خط لوله را تضمین کند. در خطوط لوله ، گاز بی اثر با خلوص بالا ، معمولاً آرگون ، به عنوان گاز محافظ استفاده می شود و سطح داخلی آن از طریق خط لوله با گاز با خلوص بالا تماس می گیرد تا از گرم شدن بخشی از آلودگی و اکسیداسیون تا دمای بالا تا حد ممکن جلوگیری شود. به علاوه بر این ، در تخمگذار خط لوله ، خط لوله با آرگون یا نیتروژن با خلوص بالا تمیز می شود تا این ذرات حذف شوند و همچنان در لوله باقی بمانند. وقتی خط لوله طولانی و پیچیده باشد ، مانند خط لوله ، چند روز تا چند هفته طول می کشد. اخیراً کاهش هزینه در ساخت کارخانه تولید نیمه هادی و بهره برداری اولیه از این کارخانه به شدت درخواست شده است. برای برآوردن این الزامات ، اکنون لازم است زمان تمیز کردن را کوتاه کنید.
علاوه بر خواص فوق ، لوله ها و اعضای گاز با خلوص بالا باید دارای قابلیت جوشکاری ، سطح اتصال مورد نیاز برای آب بندی مکانیکی و مقاومت در برابر سایش باشند. وقتی قطعاتی مانند اتصالات ماشینکاری می شوند ، ضعف ماخ مورد نیاز است. از سوی دیگر ، مشخص شده است که گازهای خاص با مقاومت در برابر خوردگی و خواص غیر کاتالیزوری ، که برای تولید لوله های نیمه هادی یا گازهای مشابه مورد نیاز است ، می توانند با گرم کردن سطح فولاد ضد زنگ به گونه ای در جو ، در چنین شرایطی بهبود یابند. در یک جو ، فشار جزئی اکسیژن کنترل می شود. شایان ذکر است که ماده عینی خط لوله به عنوان فولاد ضد زنگ SUS 316L در این ادبیات گزارش شده است.
مقاومت در برابر خوردگی و عملکرد غیر کاتالیزوری ذکر شده فقط برای خطوط لوله گاز نیست. همین تقاضا همچنین از فولاد ضد زنگ استفاده می شود که در تجهیزات مختلف برای تولید نیمه هادی ها استفاده می شود ، یکی از آنها دارای پردازش ویفر خوب است. فولاد ضد زنگ آستنیتی ، به ویژه از نوع SUS 316L ، عمدتا به عنوان ماده ای برای لوله ها و سایر اعضای تجهیزات استفاده می شود. انتشارات ثبت کوکای ژاپنی شماره 161145/1988 یک فولاد ضد زنگ آستنیتی غیر استاندارد با تمیز بالا از لوله های فولادی را نشان می دهد که در اتاق های تمیز استفاده می شود. اجزای غیر فلزی باعث کاهش میزان منگنز ، سیلیکون ، آلومینیوم و اکسیژن می شوند و در نتیجه تولید ذرات از سطح داخلی خط لوله کاهش می یابد.
علاوه بر این ، ژاپن انتشارات ثبت اختراع شماره 198463 ، 1989/را منتشر کرد ، که یک عضو فولادی ضد زنگ را برای تجهیزات تولید نیمه هادی ها نشان می دهد. این اعضا پس از پرداخت الکتروشیمیایی فولاد ضد زنگ گاز را اکسید می کنند. در شرایط خاص ، یک لایه اکسید با ضخامت 100 تا 500 انگستروم روی آن تشکیل شده و طوری گرم می شود که تعداد اتم های نیکل در قسمت بیرونی متناسب باشد.